锗烷特气系统在半导体集成电路中的作用

　　随着信息时代的不断进步，半导体等电子行业越来越重要，其中，电子气体作为电子行业支撑性原料，其质量决定了电子产品的性能。锗烷就是一种重要的电子工业用原料气体，是制造高纯锗和各种硅锗合金的重要原材料，同时，因其危险的气体性质，供气和使用都需通过特气系统来实现。

　　什么是锗烷？

　　锗烷（GeH4）是一种无色、剧毒、可自燃、非腐蚀性气体。关于锗烷的气体性质，热稳定差，较高温度时（大概280℃）会分解成锗和氢气；自催化性很强，易发生分解爆炸，危险性很高！

　　锗烷的用途

　　锗烷（GeH4）是制造高纯锗和各种硅锗合金的重要原材料，主要用于半导体,光伏太阳能和集成电路行业。比如，在MOCVD（金属有机物化学气相沉积）工艺中，锗烷（GeH4）常和硅烷，通过特气系统的输送，作为气体原材料，生成硅-锗薄膜。

　　在半导体集成电路电子器件制造中，锗烷作为硅-锗(Si-Ge)膜的前驱气体，参与制造。如在异质结二极晶体管（HBT）中，薄硅锗层作为二极晶体管的基底生长在硅片上，与传统的硅二极晶体管相比，硅-锗HBT在速度、响应频率和增益上具有明显的优势，其速度和频率响应可以与更昂贵的镓-砷HBT相比。

　　锗烷特气系统的作用

　　作为半导体行业的常用电子气体，大多都是危险性气体，如硅烷、锗烷。这些特殊气体如果使用普通的的供气系统，会具有很大的危险，容易导致事故的发生，威胁到生产人员安全。所以需要使用一种对安全性有着更高要求的供气系统，也就是电子特气系统。

　　锗烷特气系统由锗烷特气柜、气体阀门分配箱VMB、耐腐蚀的316L不锈钢管路及气体泄漏监测报警系统组成，主要的作用是保护气体的纯度、安全、提供稳定的气体压力和不间断供气。

　　以上，就是关于锗烷及锗烷特气系统的简单介绍，除此之外，锗广泛应用与红外光学、光纤、催化剂、医药、食品等领域，而锗烷是高纯单质锗的重要来源之一。

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